【半導体品質管理向け】表面凹凸可視化ユニット
ナノレベルの結晶欠陥をマクロで捕捉し、品質管理の精度を向上。
半導体業界の品質管理において、ウエハ表面の微細な欠陥の検出は、製品の信頼性を左右する重要な要素です。目視や顕微鏡検査では見逃しがちなナノレベルの凹凸やキズは、歩留まりの低下や製品不良の原因となります。本ユニットは、オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、これらの微細な欠陥を広域で捉え、検査工程の効率化と品質管理の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウエハ表面の品質検査 ・製造工程における異常の早期発見 ・品質管理部門での検査業務 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・不良品の削減 ・品質管理コストの削減
- 企業：スミックス株式会社
- 価格：応相談
