光学膜厚検査装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

光学式膜厚検査装置FiDiCa

膜厚測定を「点」から「面」へ。非接触・高速測定で、膜厚ムラを見える化。

FiDiCaは、膜厚を「点」ではなく「面」で捉える光学式膜厚分布測定装置です。非接触の分光干渉法と独自の解析アルゴリズムにより、半導体ウェーハ、フィルム、液膜などの膜厚分布を高速・高精細にマッピング。1軸のラインスキャンで最大約400万点のデータを取得し、点測定では捉えにくい面内の厚みムラ、スジ状欠陥、局所的な異常を可視化します。標準モデルのSシリーズ、広レンジモデルのDシリーズ、高分解能モデルのHシリーズを展開。薄膜から極厚膜まで、対象や目的に応じて選択できます。卓上型からCtoC搬送機付きモデルまで用意し、研究開発から量産工程の評価・検査まで、測定の効率化と品質・歩留りの向上を支援します。