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極表面の構成元素および化学結合状態を分析する手法をご紹介！
『XPS』は、軟X線を試料表面に照射することで放出される 光電子のスペクトルを解析する手法です。 極表面(数nm程度)の構成元素および化学結合状態の分析が可能です。 当社では、高速イオン銃や全反射測定用の高精度ステージなどを 装備しており、幅広い試料への応用が実現できます。 【主な応用範囲】 ■材料表面近傍の深さ方向評価 ■材料表面の腐食、変色、酸化などの調査 ■各種未知化合物の化学結合状態の推定 ■半導体表面などの汚染物質調査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行っています
主な装置は「HR-TEM」「Ｑ-pole型SIMS」「μESCA」「RAMAN」など。ミクロ・ナノレベルの表面分析におけるノウハウの蓄積があり、信頼性の高いデータを短期間で提供することができます。また未知試料の分析についてもアドバイスします。 【表面分析 X線光電子分光分析（ESCA・XPS）】 ○X線をサンプルに照射して表面から数nmの深さから放出される光電子のエネルギー分析により元素を同定し組成・化学結合状態を分析する手法。 ○絶縁物の表面分析に適しており、Arイオンエッチングによる深さ分析や10μm径のビームによる局所分析が可能。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
