全自動FOUP洗浄システム『UPC-12500 SORA』
高品質・高スループット・省エネ！SEMI規格はもちろん、ULやCE規格にも準拠
『UPC-12500 SORA』は現代の半導体製造には不可欠な高品質・ 高スループット・省エネをコンセプトに改良された全自動FOUP洗浄システムです。 SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠。 自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に 対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 【特長】 ■スループットの向上 ■省エネ対策 ■省フットプリント設計 ■GEM300対応 ■メンテナンス性の向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ヒューグルエレクトロニクス株式会社
- 価格：応相談
