高品質・高スループット・省エネ！SEMI規格はもちろん、ULやCE規格にも準拠
『UPC-12500 SORA』は現代の半導体製造には不可欠な高品質・ 高スループット・省エネをコンセプトに改良された全自動FOUP洗浄システムです。 SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠。 自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に 対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 【特長】 ■スループットの向上 ■省エネ対策 ■省フットプリント設計 ■GEM300対応 ■メンテナンス性の向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■寸法：2,200(W)×3,230(H)×2,500(D) mm ■重量：3,200kg（純水タンク満水時） ■電源：3相AC 200V±10％ 定格26.0kVA ■純水：15L/min ■CDA1（乾燥用）：4,000～4,500L/min 0.7±0.05MPa ■CDA2（駆動用）：500L/min 0.7±0.05MPa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
ヒューグルは1969年、半導体産業の創世期に半導体製造装置のワールドリーダーだったアメリカ・ヒューグルインダストリーズ社の極東支社として、最初のスタートを切りました。そして、この先発の利を生かし、1971年に独自のメーカーとしての基盤を確立。 以来、日進月歩で進化を続ける半導体及びＬＣＤなどフラットパネルの世界で、つねに時代の流れに先駆けて、数々の独創的な 製品を開発・提供してきました。 特にご注目いただきたいのは、あくまでもオリジナリティにこだわり、他があまり手がけない、しかも品質に大きく影響する “ピュアでクリーンな生産環境に関わる機器・装置”に、いち早く着目して専門特化をはかったことです。 ご承知のように、半導体の技術革新は限りない高集積化をめざしており、必然的に生産や検査をめぐる環境には「超」のつく 清浄度と純粋さが求められます。 そこで私たちは“Ｃｌｅａｎ＆Ｑｕａｌｉｔｙ”の理念を前面に掲げ、持てる技術の精緻を究めて、より高度な生産環境を 実現するために、力を尽くしてきたのです。