全自動蒸着装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

全自動蒸着装置 Multi BAK

最大4チャンバー搭載、カセットtoカセットで高スループットを実現する全自動蒸着装置

Multi BAKは、中央の大気搬送ハンドラーの周囲に最大4台のBAKプロセスチャンバーを統合した全自動蒸着装置です。 カセットtoカセット処理により手作業を排除し、革新的なハンドリングとロードロック技術で、処理時間の短縮、プロセス再現性の向上、装置の消費エネルギー削減を実現します。大量生産用途でスループットを高め、CoO（所有コスト）を低減します。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。