加工エキシマレーザ(波長) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

加工用エキシマレーザ【G300K】

KrFエキシマレーザを使用した次世代パッケージ基板への微細加工技術をご提案します！

『G300K』は当社が半導体リソグラフィ用KrFエキシマレーザ製造から得た技術とノウハウを集結した加工用エキシマレーザ光源です。 半導体後工程において、小さいビア（10μm）が必要な基板への加工やトレンチ加工が可能となっており、今後の先端基板への活用が期待できます。 【加工可能材料の一例】 層間絶縁材料/ソルダーレジストほか