半導体マクロ検査装置(iFocus)
半導体ウェハー検査機器、検査用カメラを2台使用し、タクトタイムを1/2に削減。3Dバンプの検査も可能。
特許取得のOTF(On the Fly)技術をを使用し、検査用カメラを2台使用し、明暗視野を同時に撮像することにより、検査工程に価格時間を1/2に短縮。また、3Dの検査も可能し、WLSCPパッケージ等に使用されるバンプのコプラナリティの検査を可能にします。
- 企業:CCTECH Japan株式会社 CCTECH Japan(株)- 日本法人
- 価格:応相談