半導体軸ロボット(検査) - 企業1社の製品一覧

半導体用 6軸ロボット

スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット

繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。

• 企業：ストーブリ株式会社
• 価格：応相談

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• その他半導体製造装置