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2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応！顕微鏡ローダ装置
『SYAR110』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ■レーザー型マッピングセンサ搭載 ■塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ装置
『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。 【特長】 ■顕微鏡XYステージではウェハ表面のマクロ観察可能 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■アクリルカバー、各種インターロック装備 ■観察ポイント、検査結果を記録収納可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
