ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ装置
『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。 【特長】 ■顕微鏡XYステージではウェハ表面のマクロ観察可能 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■アクリルカバー、各種インターロック装備 ■観察ポイント、検査結果を記録収納可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■LED/MEMS/パワーデバイス分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。