2周波/3周波/4周波 高周波電源
複数の周波数を交互に出力可能 プラズマの高密度化・新プロセスの開発に貢献
・2周波電源 13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW 27.12MHz/60MHz 3kW 2MHz/4MHz 1kW 2kW 400kHz/800kHz 500W ・3周波電源 27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W 3kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 20W ・4周波電源 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/54.24M 1kW
- 企業：株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部
- 価格：100万円 ~ 500万円
