複数の周波数を交互に出力可能 プラズマの高密度化・新プロセスの開発に貢献
・2周波電源 13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW 27.12MHz/60MHz 3kW 2MHz/4MHz 1kW 2kW 400kHz/800kHz 500W ・3周波電源 27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W 3kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 20W ・4周波電源 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/54.24M 1kW
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基本情報
・2周波電源 13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW 27.12MHz/60MHz 3kW 2MHz/4MHz 1kW 2kW 400kHz/800kHz 500W ・3周波電源 27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W 3kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 20W ・4周波電源 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/54.24M 1kW
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
半導体製造装置等、幅広い業界でご採用頂いております
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。