四重極型質量分析計『M-101/201QA-TDM』
高度な分析に対応する優れた基本性能!低ガス放出のイオン源を採用したトランスデューサータイプ
『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC制御専用の四重極型質量分析計です。 検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の 細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等 幅広く使用されています。 また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の 「M-070QA-TDF」もご用意しております。 【特長】 ■検出器に2次電子増倍管を使用 ■低ガス放出のイオン源を採用 ■イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能 ■QUADVISION ■豊富なI/O機能を標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格:応相談