高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトランスデューサータイプ
『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC制御専用の四重極型質量分析計です。 検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の 細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等 幅広く使用されています。 また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の 「M-070QA-TDF」もご用意しております。 【特長】 ■検出器に2次電子増倍管を使用 ■低ガス放出のイオン源を採用 ■イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能 ■QUADVISION ■豊富なI/O機能を標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■標準モデル ・M-070QA-TDF ・M-101QA-TDF ■高感度モデル ・M-101QA-TDM ・M-201QA-TDM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■残留ガスモニタ、加速器等の真空モニタ、無機ガス分析、昇温脱離ガス分析、等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。
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