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四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

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最終更新日:2023年04月05日

東京電子株式会社
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業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現!

『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集 速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。 残留ガス分析計(質量分析計) (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、 お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、 ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。 【特長】 ■超高速データ収集 ■TCP/IP イーサネット接続 ■デュアルフィラメント ■アノード、カソード、リペラーを統合したフィラメントキット ■互換性を備えたセンサとエレクトロ二クス・ユニット(マッチング不要) ■設置スペースの最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

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基本情報

【仕様】 ■質量範囲: 100、 200、 300amu ■検出器タイプ: FC/EM ■イオン化エネルギー: 70eV ■フィラメント: Y203-Ir デュアルフィラメント(タングステン:オプション) ■感度: 4.5 x 10-6 A/Pa (MPH100: FC) ■最小検出分圧:2.7 x 10-13Pa (MPH100: EM) ■最小検出速度: 1.8msec(アナログスキャンまたは、選択ピークモード) ■動作温度: 200℃ (FC)、 150℃ (EM) ■ベーキング温度: 最大 300℃ センサー単体 ■通信: TCP/IP イーサネット ■ソフトウエア: FabGuard Explorer ( Windows XP、 7、 8.1、10対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例

【用途】 ■UHV の高精度な質量分析(ガス分析) ■表面分析(アウトガス) ■半導体デバイスの真空工程 ■微量質量分析 (微量ガス分析) ■気密性試験 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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四重極型質量ガス分析計『Transpector MPS&MPH』

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私たち東京電子株式会社は、エレクトロニクスと精密機器の技術によって、精度と信頼性・耐久性を誇るさまざまな分野にわたる真空計、制御機器を開発してきました。 「真空」という命題は、IT産業をはじめエレクトロニクス、食品や医療に関わる分野、新素材の開発や生活必需品の製造にいたるまで、私たちの生活と産業のベースとなる技術です。そのために、多彩なフィールドにおける数々のクライアントの皆さまからの要求に、的確かつフレキシブルにお応えすることこそが、私たちのビジネス。 現代の、明日の、そして未来への産業と人々のより良い生活のために、「真空」という私たちの技術と製品が、青く澄んだ空のように、人々の幸せの上に広がる「真の空」となることを願いながら、私たちは今日も活動を続けています。

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