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高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

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最終更新日:2023年04月05日

東京電子株式会社
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新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現!

『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と 装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計(質量分析計)です。 RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、 カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。 メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、 センサを長期間に渡って使用することが可能になり、システムの致命的な 障害を回避できます。 また、用途に適したフィラメントを選択できるため、プロセスにより フィラメントの寿命が縮まるような事はありません。 【特長】 ■1ポイント当たり1.8msの超高速データ収集 ■標準校正器(オプション) ■TCP/IPイーサネット接続が可能 ■デュアルフィラメント(2本) ■現場で交換可能な2次電子増倍管 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

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【その他の特長】 ■アノード、カソード及びリペラー電極を組み合わせたフィラメントキット ■コンパクトなセンサによる設置スペースの最少化 ■9桁のダイナミックレンジ ■MDPP(最小検出分圧)は<2.7E-13Pa(100amu) ■S/N比の向上 ■センサと制御部(SCU)のマッチング不要 ■クリーンルーム環境における組立・検査、及び二重梱包による出荷 ■RoHSに適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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私たち東京電子株式会社は、エレクトロニクスと精密機器の技術によって、精度と信頼性・耐久性を誇るさまざまな分野にわたる真空計、制御機器を開発してきました。 「真空」という命題は、IT産業をはじめエレクトロニクス、食品や医療に関わる分野、新素材の開発や生活必需品の製造にいたるまで、私たちの生活と産業のベースとなる技術です。そのために、多彩なフィールドにおける数々のクライアントの皆さまからの要求に、的確かつフレキシブルにお応えすることこそが、私たちのビジネス。 現代の、明日の、そして未来への産業と人々のより良い生活のために、「真空」という私たちの技術と製品が、青く澄んだ空のように、人々の幸せの上に広がる「真の空」となることを願いながら、私たちは今日も活動を続けています。

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