G-TRANシリーズ SAU圧力センサユニット
圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能【アルバック/ULVAC】
G-TRANシリーズ SAU圧力センサユニットは、大気圧近傍(ゲージ圧:-100kPa ~ 10kPa)を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転にも対応可能となり、また内表面の材質は、耐食性に富んだSUS316Lを採用しております。 【仕様】 ○圧力基準 ゲージ圧 ○測定圧力範囲 -100 ~ 10kPa(ゲージ圧) ○測定精度 ±3% F.S. ○温度特性 ZERO ±0.2% F.S./℃ SPAN ±0.1% F.S./℃ ○繰り返し性 ±2% F.S. 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
- 価格:応相談