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ウェハZ軸位置決めや、ウェハ厚み測定などの改善事例をご紹介！
当資料は、半導体業界における測定器・変位センサの改善事例集です。 ウェハダイシング深さ測定やBGAバンプの形状測定、スパッタリング ターゲットの磨耗量測定、真空チャンバ内アーム曲がり測定、モールド 前のチップの高さ測定など、様々な事例を掲載。 その他にも、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ウェハZ軸位置決め ■ウェハ厚み測定 ■ウェハダイシング深さ測定 ■BGAバンプの形状測定 ■ワイヤボンディング高さ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
誘導型 位置センサー LVITは、コンタクトレス動作のセンサーです。 低コスト、頑丈な構造で、優れたストローク対長さ比率です。
誘導型 位置センサー LVITは、コンタクトレス動作のセンサーです。 低コスト、頑丈な構造で、優れたストローク対長さ比率です。 測定範囲: 25～200 mm 出力: 10 Vあるいは、4-20 mA LDI-119シリーズ: 直径11mm ハウジングコンパクトタイプ LDI-127シリーズ: 直径27mm ハウジング 特に頑丈なタイプ
ワイヤー式 変位センサー のご紹介です
ポテンショメータにワイヤーを巻きつけてある 変位センサーです。ワイヤーが引き出されることにより移動距離が計測できるセンサーです。溝付きドラムのため再現性に優れています。
