外観検査装置(SWL-05)
φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です
・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。 ・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。
- 企業:株式会社ジャステム
- 価格:応相談
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φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です
・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。 ・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。
φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です
カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。 作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。