量産現場の実績多数 WET処理装置(洗浄・現像・エッチング剥離)
液晶及び有機EL市場において高いシェアを誇る枚葉平流し式ウェット処理装置
●量産工場への納入実績多数 ●用途に合わせて、スプレー処理、ディップ処理、パドル処理など、 好適なエッチング装置構成をご提案 ●独自開発したスプレーノズルによる均一性の向上 ●様々な薬液に対応可能な実績 ●基板サイズ：□100×100mm～□2 250×2 800mm 【特長】 ●薬液消費量の低減に効果を発揮 ●独自の搬送駆動機構によりパーティクルレスを実現 ●大量処理データの登録を可能にし、多品種化に対応 ●アラーム発生時の状態ログ機能によりダウンタイムを低減 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ
- 価格：応相談
