【光学分野向け】開口部付多軸ピエゾスキャナー P-517/527
ナノレベルの位置決めを実現する、摩擦ゼロのマルチ軸ピエゾスキャナ
光学分野における位置決めは、高精度な測定や検査、微細加工において、非常に重要な要素です。特に、レンズやミラーなどの光学部品の位置調整は、システムの性能を左右する重要な課題です。従来の機械的な位置決め方法では、摩擦やバックラッシュによる精度の限界があり、高精度な位置決めが困難な場合がありました。P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、ナノレベルの分解能と再現性により、光学部品の位置決めにおける課題を解決します。 【活用シーン】 ・光学検査 ・ウェハー検査 ・ナノポジショニング ・計測 ・顕微鏡 【導入の効果】 ・サブナノメートルの分解能による高精度な位置決め ・摩擦ゼロのフレクシャガイドによる安定した動作 ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・50 x 50mmの開口による透過光測定への対応
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
