大気圧リモートプラズマ装置『RT』
低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程で採用されています
『RT』は、低温処理＆電界遮蔽構造の大気圧リモートプラズマ装置です。 高速（10m/min)処理で10°以下を達成（LCD向けガラス基板の処理）。 160～3400mm巾まで対応の豊富なラインアップをご用意しています。 LCD分野では、ガラス表面の濡れ性改善、wet洗浄効果の向上に、 タッチパネル、OLEDの分野では、導電フイルムの表面改質、貼り合わせ 前処理などの目的で使用されます。 【特長】 ■ダメージレス ■高い処理性能 ■豊富なラインアップ ■実績多数 ■対応幅：160～3400mm ■Utility：電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：積水化学工業株式会社 P2事業推進部
- 価格：応相談
