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実験プラズマCVD装置×株式会社DINOVAC - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等!基板加熱機構付き(最高設定温度:500℃)

当社で取り扱う『立体物対応実験用プラズマCVD装置』をご紹介いたします。 立体物に成膜可能で、対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等。 PC操作(シーケンサー制御)で、全自動、データロギングが可能です。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ■対応可能膜種:DLC、アモルファスSiC等 ■基板加熱機構付き(最高設定温度:500℃) ■PC操作(シーケンサー制御)で、全自動、データロギング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • プラズマ発生装置
  • CVD装置

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【製造実績】立体物対応実験用プラズマCVD装置

表面処理工程に導入!真空チャンバーの材質は、ステンレス製で到達真空度が1Pa以下の製品の事例

自動車・バイク部品製造業へ「立体物対応実験用プラズマCVD装置」を 製造した実績についてご紹介いたします。 立体物にDLC、アモルファスSiC等が成膜可能な基材加熱機構付き (最高設定温度:500℃)の製品を導入。 また、PC操作(シーケンサー制御)で、全自動、データロギングが できます。ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【実績概要】 ■立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ■対応可能膜種:DLC、アモルファスSiC等 ■基材加熱機構付き(最高設定温度:500℃) ■PC操作(シーケンサー制御)で、全自動、データロギング ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 真空機器

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