TAIKOウェハ対応反転移載装置
反転記載もできる!8インチタイコウェハ対応の装置をご紹介します。
当製品は、エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 接触することなく移載できる装置です。 研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能。 カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応しており、 相互間で移し替えることができます。 【特長】 ■8インチタイコウェハ対応 ■研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能 ■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応 ■相互間で移し替えることができる ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 接触することなく移載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:アテル株式会社
- 価格:応相談