【半導体製造向け】 小型のエア式クーラー
半導体製造装置の局所冷却を、もっとシンプルに。
【ボルテックスチューブ】は、圧縮空気のみで冷風と温風を生成し、局所冷却に適したエア式冷却機器。 電源・冷媒不要で簡単に導入でき、最大-47℃の冷風を供給可能。 金属製ボディで耐久性に優れ、過酷な環境でも安定稼働。可動部がなくメンテナンスフリー。 盤内冷却や工具冷却など幅広い用途に対応。
- 企業:虹技株式会社 環境エンジニアリング事業部
- 価格:10万円 ~ 50万円
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半導体製造装置の局所冷却を、もっとシンプルに。
【ボルテックスチューブ】は、圧縮空気のみで冷風と温風を生成し、局所冷却に適したエア式冷却機器。 電源・冷媒不要で簡単に導入でき、最大-47℃の冷風を供給可能。 金属製ボディで耐久性に優れ、過酷な環境でも安定稼働。可動部がなくメンテナンスフリー。 盤内冷却や工具冷却など幅広い用途に対応。