超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』
紫外線照射式＋活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍
『OZK-ISC001』は、制御ユニット・分解塔・活性炭処理槽が 一体となった小型オゾン水分解装置です。 分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを 紫外線ランプ（254nm）の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した 活性炭槽でオゾンの分解を促進します。 半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。 【標準仕様】 分解原理：紫外線照射式＋活性炭式 分解対象液：純オゾン水 分解液温度：20～50℃（周囲温度：15～40℃、90％RH以下） 使用圧力範囲：0.4MPa以下 使用流量：20L/min以下（条件による） 分解後の濃度：5ppm以下（条件による） ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社アプリクス
- 価格：応相談
