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小型ピエゾステージ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

小型ピエゾステージの製品一覧

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【精密測定向け】44mm角・小型ピエゾステージ P-611.Z

44mm角の筐体で、高さ計測をナノレベルで実現。

精密測定の分野では、正確な高さ計測が不可欠です。特に、微細な構造物の測定や、表面形状の精密なプロファイリングにおいては、ナノレベルの精度が求められます。従来の測定方法では、振動や温度変化の影響を受けやすく、正確な測定が困難な場合があります。P-611.Zは、最大0.2nmの分解能と0.1%のリニアリティを実現し、高さ計測における課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体デバイスの高さ測定 ・MEMSデバイスの形状測定 ・光学部品の厚さ測定 ・表面粗さ測定 【導入の効果】 ・ナノレベルでの高さ測定が可能 ・測定時間の短縮 ・測定精度の向上 ・製品品質の向上

  • P-611.ZS.jpg
  • P-611.Z.jpg
  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • エンコーダー
  • 小型ピエゾステージ

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