小型磁気センサ(制御) - メーカー・企業と製品の一覧

【半導体製造向け】高精度位置決め小型磁気センサー

繰り返し精度±0.1μmの小型磁気センサー。精密な位置制御に貢献。

半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハや基板の位置決めにおける高精度な制御が不可欠です。特に、微細加工や組み立て工程においては、わずかなズレが製品の品質や歩留まりに大きな影響を与える可能性があります。当社の高精度位置決め小型磁気センサーHA-120,スイッチHS-120は、±0.1μmの繰り返し精度を実現し、半導体製造における精密な位置制御を可能にします。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送装置の位置検出 ・露光装置におけるステージ位置制御 ・ボンディング装置における位置決め ・検査装置における精密な位置合わせ 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・製造プロセスの効率化 ・装置の性能向上