繰り返し精度±0.1μmの小型磁気センサー。精密な位置制御に貢献。
半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハや基板の位置決めにおける高精度な制御が不可欠です。特に、微細加工や組み立て工程においては、わずかなズレが製品の品質や歩留まりに大きな影響を与える可能性があります。当社の高精度位置決め小型磁気センサーHA-120,スイッチHS-120は、±0.1μmの繰り返し精度を実現し、半導体製造における精密な位置制御を可能にします。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送装置の位置検出 ・露光装置におけるステージ位置制御 ・ボンディング装置における位置決め ・検査装置における精密な位置合わせ 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・製造プロセスの効率化 ・装置の性能向上
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基本情報
【特長】 ・精密移動体等の原点位置のセンターを高精度に検出 ・発磁体を検出するため、汚れや粉塵の影響を受けにくい ・検出ヘッドはφ3mm×16.5mmと小径で、取り付け場所を選ばない ・直流電圧出力（HA-120）、NPN/PNPトランジスター出力タイプ（HS-120/HS-121） 【当社の強み】 オリジナル技術である可飽和コイルを利用した、原理的にシンプルな磁気検出素子技術により、悪条件下でも高精度で長期間安定してお使い頂けます。100%日本国内で開発・製造しており、製品ラインナップの8割以上はお客様の個別のご要望に基づく特注品です。センシング・測定で何かお困りごとがございましたら是非ご相談ください。標準品につきましては安心の3年保証です。
価格情報
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価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
~ 1週間
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
高精度移動台原点検知 マシニングセンター原点検知 光学機器位置決め
ラインアップ（9）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| HA-120 | 直流電圧出力 |
| HS-120-N | スイッチング出力 NPNトランジスター出力タイプ N極 |
| HS-120-S | スイッチング出力 NPNトランジスター出力タイプ S極 |
| HS-121-N | スイッチング出力 PNPトランジスター出力タイプ N極 |
| HS-121-S | スイッチング出力 PNPトランジスター出力タイプ S極 |
| MG-210 | 発磁体 |
| MG-210B | 発磁体 |
| MG-220 | 発磁体 |
| D-4 | ヘッドホルダー |
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
CADデータ（12）
| 型番 | 概要 | ファイル |
|---|---|---|
| HA-120 | 高精度 位置決めセンサー |
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| HA-120 | 高精度 位置決めセンサー |
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| HS-120 | 高精度位置決めセンサー Φ３ NPN出力 |
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| HS-120 | 高精度位置決めセンサー Φ３ NPN出力 |
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| HS-121 | 高精度位置決めセンサー Φ３ PNP出力 |
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| HS-121 | 高精度位置決めセンサー Φ３ PNP出力 |
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| MG-210 | LS・FS用 発磁体 |
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| MG-210 | LS・FS用 発磁体 |
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| MG-220 | LS・FS用 発磁体 |
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| MG-220 | LS・FS用 発磁体 |
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| D-4 | HA-120・HS-120シリーズ用 ヘッドホルダー |
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| D-4 | HA-120・HS-120シリーズ用 ヘッドホルダー |
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企業情報
オリジナル技術である可飽和コイルを利用した、原理的にシンプルな磁気検出素子技術により、悪条件下でも高精度で長期間安定してお使い頂けます。無人搬送台車や産業機器、省力化機械を中心に、マテハン、工作機械、射出成形機・土木建築建設ロボット、食品機械、産業機械、原子力設備、船舶といった幅広い業界から厚いご支持を頂いております またF1やMoto GPといったモータースポーツ向けセンサーや、建設機械向けの傾斜計、科学分野では超高精度計測に用いる磁気センサーも得意としています。立体駐車場・ゴルフカート誘導センサーなども一部採用頂いております。100%日本国内で開発・製造しており、製品ラインナップの8割以上はお客様の個別のご要望に基づく特注品です 防水・防爆・耐熱・耐水・耐放射線仕様など特注対応品も多数あります センシング・測定で何かお困りごとがございましたら是非ご相談ください IoTプラットフォーム 既存品の軽微なカスタムから新しい検出原理のご提案まで、営業・技術スタッフが全力で対応します。カイゼンのお手伝いもお任せください 標準品につきましては安心の3年保証です。所在地長野県 伊那 イプロスものづくり 掲載
