小型高精度アクチュエータ - 企業1社の製品一覧

超小型・高精度アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ 20角』

【超小型版が新登場】当社比で58％のスペース削減を実現！繰り返し位置決め精度±1μmを実現した”高精度アクチュエータ”！

当社比で58％のスペース削減を実現した”20mm角サイズ”の超小型版が新登場！！『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。【ミリオンアクチュエータの特徴】 ■繰り返し位置決め精度 ±1μm を実現！ ■ローラー式ガイドを採用しているため、振動が少なくなめらかで、　XY 方向繰り返し精度は従来品と比較して 3 倍以上！ ■省スペース＆一体構造のため、装置設計の時間短縮に貢献 ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。