CMP工程廃液処理装置
CMP工程廃液(CMPスラリーを含む廃水)処理装置に関する装置です。同廃液処理にお困りの方、ぜひ一度ご確認ください
本機は、半導体ウエハ製造工程や前工程のCMP工程から排出されるCMP工程廃液を、濃縮スラリーと水分に分離する装置です。 工程廃液処理を容易とするほか、得られる濃縮スラリーや水を再利用することも可能です。
- 企業:株式会社MFCテクノロジー
- 価格:応相談
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CMP工程廃液(CMPスラリーを含む廃水)処理装置に関する装置です。同廃液処理にお困りの方、ぜひ一度ご確認ください
本機は、半導体ウエハ製造工程や前工程のCMP工程から排出されるCMP工程廃液を、濃縮スラリーと水分に分離する装置です。 工程廃液処理を容易とするほか、得られる濃縮スラリーや水を再利用することも可能です。
廃液からのニッケル・銅資源の循環に貢献しています。
廃アルカリ 脱脂廃液,ブース廃液,洗浄廃液,染料廃液,インク廃液,レジスト廃液,現像剥離液,ニッケル剥離液,苛性ソーダ,シアン廃液(特定有害),クロム廃液(特定有害),臭化リチウム,臭化リチウムクロム含有(特定有害),特定有害物含有(水銀、カドミウム、鉛、ヒ素、セレン),有機性廃アルカリ