CMP工程廃液処理装置

株式会社MFCテクノロジー

CMP工程廃液（CMPスラリーを含む廃水）処理装置に関する装置です。同廃液処理にお困りの方、ぜひ一度ご確認ください

本機は、半導体ウエハ製造工程や前工程のCMP工程から排出されるCMP工程廃液を、濃縮スラリーと水分に分離する装置です。 工程廃液処理を容易とするほか、得られる濃縮スラリーや水を再利用することも可能です。

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CMP工程廃液処理装置

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基本情報

本機は、半導体ウエハ製造工程や前工程のCMP工程から排出されるCMP工程廃液を、濃縮スラリーと水分に分離する装置です。 工程廃液処理を容易とするほか、得られる濃縮スラリーや水を再利用することも可能です。

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用途／実績例

半導体ウエハ製造工程や前工程のCMP工程における廃液処理

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株式会社MFCテクノロジーは、来るべき水素・燃料電池社会に向けて燃料電池セル構成には欠かせないガス燃料電池部材、IoT社会で数多く使用される半導体チップの製造に関わるケミカルフィルター、およびCMPスラリーといった半導体製造装置用部材を取り扱っております。

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