浮遊帯域半導体精製装置
シリコンロッドを浮遊帯域精製、単結晶化及び無転位単結晶化する装置です。
浮遊帯域半導体精製装置はArガス雰囲気中でシリコンロッドを高周波で加熱し、偏析法により浮遊帯域精製、又は単結晶化、又は無転位単結晶化を行う装置です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:アカイ電子工業株式会社
- 価格:応相談
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シリコンロッドを浮遊帯域精製、単結晶化及び無転位単結晶化する装置です。
浮遊帯域半導体精製装置はArガス雰囲気中でシリコンロッドを高周波で加熱し、偏析法により浮遊帯域精製、又は単結晶化、又は無転位単結晶化を行う装置です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。