分光干渉式ウェハ厚み計 SI-F80R シリーズ
BG(バックグラインド)テープ付きでも、パターンがあっても、『真のウェハの厚み』がわかるウェハ厚み計
■ウェハの厚みが正確に測れる ■パターンの影響を受けにくい ■試作ウェハの評価時間を短縮
- 企業:株式会社キーエンス
- 価格:応相談
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BG(バックグラインド)テープ付きでも、パターンがあっても、『真のウェハの厚み』がわかるウェハ厚み計
■ウェハの厚みが正確に測れる ■パターンの影響を受けにくい ■試作ウェハの評価時間を短縮