平板型マグネトロンボディー
シールされた冷却チャンネル！標準WSM＆SSMボディーやPLANAR XTボディをご用意
当社ではハイエンドテクノロジーアプリケーション向けに平板型マグネトロンを 提供しています。 様々な種類のアプリケーション向けに当社はこれまで350基以上の大型平板型 マグネトロンを販売。改造、そして新しい製膜装置への応用にご使用ください。 さらに、ポンプ搭載型、非搭載型のプロセスリッドを完全組立て提供します。 本製品シリーズは、WSM、高効率平板型マグネトロンHU-WSM、および大規模 エリアの平板型アプリケーション向けPlanar XTと小規模エリア向けSSMと HU-SSMの3種類のマグネトロンで構成されています。 【特長】 ■標準WSM＆SSMボディー ・シンプルなターゲット設計 ・WSMでターゲット利用率30%（30mm Agの場合、4500kWh） ・製膜均一性 <±1.0% ■高利用効率平板型HU-WSM＆HU-SSMボディー ・ターゲットライフタイム6000kWh（30mm Agの場合） ・ターゲットライフタイムの長期化 ・ターゲット利用効率向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社
- 価格：応相談
