微小流量コントローラ『Z3000型』
流量計に熱式流量計を採用！1～25ｍL/minの微小領域のコントロールが可能になりました
『Z3000型』は、熱式微小流量計とモーターバルブを組み合わせた 微小流量コントローラです。 バルブユニットとコントローラユニットを一体型にし、小さいスペースで 取り付けが可能。 また、通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより 動作状態とアラーム状態の確認ができます。 【特長】 ■1～25mL/minの微小領域のコントロールが可能 ■バルブユニットとコントローラユニットを一体型 ■小さいスペースで取り付けが可能 ■LED表示灯により、電源状態、流量制御状態、アラーム状態を確認できる ■通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより 動作状態とアラーム状態の確認ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：サーパス工業株式会社 本社
- Price：応相談
