流量計に熱式流量計を採用！1～25ｍL/minの微小領域のコントロールが可能になりました
『Z3000型』は、熱式微小流量計とモーターバルブを組み合わせた 微小流量コントローラです。 バルブユニットとコントローラユニットを一体型にし、小さいスペースで 取り付けが可能。 また、通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより 動作状態とアラーム状態の確認ができます。 【特長】 ■1～25mL/minの微小領域のコントロールが可能 ■バルブユニットとコントローラユニットを一体型 ■小さいスペースで取り付けが可能 ■LED表示灯により、電源状態、流量制御状態、アラーム状態を確認できる ■通信ポートを本体側面に装備し、専用オペレーションソフトにより 動作状態とアラーム状態の確認ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■流体：純水、薬液(石英ガラスを腐食させない流体) ■使用流量範囲：1～25mL/min ■接続形状：Wフィッティング ■使用圧力範囲：0～300kPa ■耐圧：500kPa ■流体温度：5～40℃ ■環境温度：15～35℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
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企業情報
当社は、フッ素樹脂製液体コントロール分野で蓄積したノウハウと長年の 研究開発のもとに、卓越した技術で3,000を超える自社ブランド製品を 市場に送り出しています。 それらの製品は、半導体製造から理化学機器、医療機器にいたるまで お客様から高い評価と信頼をいただいています。 ご要望の際はお気軽にご相談ください。
