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高精度な押出成形による微細孔セラミックスで流量のばらつきを抑制
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、薬液やガスの均一な供給が求められます。特に、微細なパターン形成や精密なプロセス制御においては、流量のわずかな変動が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。微細孔・多孔セラミックスは、個体による流量値のバラツキを抑え、安定した流量供給を実現します。 【活用シーン】 ・薬液供給 ・ガス供給 ・成膜プロセス 【導入の効果】 ・流量の安定化 ・歩留まり向上 ・品質向上
高精度な押出成形による微細孔セラミックスでガス分析の流量を安定化
環境測定業界、特にガス分析においては、測定精度を確保するために、ガスの流量を正確に制御することが重要です。流量のわずかな変動が、分析結果の信頼性を損なう可能性があります。微細孔・多孔セラミックスは、最小φ0.02mmまでの微細内径が製作でき、安定した流量制御を実現し、精度の高いガス分析を可能にします。 【活用シーン】 ・ガスセンサ、ガス濃度測定部材 ・気体、液体フィルタ ・分析機器流路 【導入の効果】 ・流量の安定化による測定精度の向上 ・腐食性気体、液体分析の信頼性向上 ・高温環境下における信頼性向上
