高精度な押出成形による微細孔セラミックスで流量のばらつきを抑制
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、薬液やガスの均一な供給が求められます。特に、微細なパターン形成や精密なプロセス制御においては、流量のわずかな変動が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。微細孔・多孔セラミックスは、個体による流量値のバラツキを抑え、安定した流量供給を実現します。 【活用シーン】 ・薬液供給 ・ガス供給 ・成膜プロセス 【導入の効果】 ・流量の安定化 ・歩留まり向上 ・品質向上
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基本情報
【特長】 ・独自技術によりφ0.02mm～の孔を長さ100mmで製作可能 ・深孔でも薄肉から厚肉まで自由な肉厚で製作OK ・安定した内径寸法により、流体制御部品などの流量安定、圧力損失抑制に貢献 ・直径1mm未満の細孔でも、アスペクト比200以上のものまで製作可能 ・高アスペクト比の孔が押出方向に貫通 【当社の強み】 PILOTファインセラミックスは、シャープペンシルで培った混練、押出成形、焼成といったコア技術を利用したユニークなセラミック製品です。独自開発の押出成形設備と焼成ノウハウにより緻密に成形し、均質に焼成された高密度・高強度・高純度のセラミックスを提供します。
価格帯
納期
用途／実績例
※上記の数値はあくまでも参考値ですので、実際にご使用される 寸法試作にてご確認いただけますようお願いいたします。
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企業情報
PILOTファインセラミックスは、当社シャープペンシルで培った混練、押出成形、焼成といったコア技術を利用したユニークなセラミック製品です。 独自開発の押出成形設備と焼成ノウハウにより緻密に成形し、均質に焼成された高密度・高強度・高純度のセラミックスです。さらに二次加を加えることにより、内外径に高精度(ミクロンオーダー)の寸法精度と表面の平滑面(サブミクロンオーダー)の面粗度が提供可能です。
