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答えはこちら！極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介！
『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、 リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！ ★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ■産総研殿の測定精度評価を取得 ■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能 ■各種受託ガス分析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
適切な試料処理や導入方法、共存成分の影響などを考慮した分析機器の選択、分析法の組み立てがわかる。臭気成分など各事例から解説
○発刊日2012年5月28日○体裁B5判上製本 305頁○価格：本体 60,000円＋税→STbook会員：56,952円＋税 ○著者： 前田恒昭 (独)産業技術総合研究所 / 大塚剛史 アジレントテクノロジー(株) / 臼倉浩一 (株)パーキンエルマージャパン / 有井 忠 (株)リガク / 平下紀夫 電子科学 (株) / 野々村 誠 環境技術評価研究所 / 大久保優晴 日本分光(株) / 田辺一人 横河電機(株) / 田中浩史 (株)三菱化学アナリテック / 小川賢吾 (株)東レリサーチセンター / 関口 淳 リソテックジャパン(株) / 高梨康志 (株)日鐵テクノリサーチ / 有原和彦 (株)日鐵テクノリサーチ / 山田正隆 ナノサイエンス (株) / 水越恵美 (株)富士通ファシリティーズ・エンジニアリング / 杉田和俊 (株)三菱化学アナリテック / 中谷 茂 (株)堀場製作所 / 武廣絵里子 鹿島建設(株) / 高本 清 (株)かんでんエンジニアリング / 仲山和海 (一般財団法人)化学物質評価研究機構/ 大武義人 (一般財団法人)化学物質評価研究機構
