性リニアモータ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ウェーハ検査の測定再現性を高めるリニアモータ

非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュ由来の位置誤差を低減

N-310 NEXACT(R) OEMミニチュアリニアモーター/アクチュエータは、小型で20mmのストロークと最大10Nの駆動力を備えています。 非接触の光学式リニアエンコーダにより、ステージ上の位置を直接かつ高精度に測定します。非直線性、機械的バックラッシュ、弾性変形の影響を受けません。 【特徴】 ・ストローク：20mm ・コンパクト設計、高いコスト効率が ・0.03nmの分解能 ・駆動力：最大10N ・分解能：最大0.03nm ※詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。