非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュ由来の位置誤差を低減
N-310 NEXACT(R) OEMミニチュアリニアモーター/アクチュエータは、小型で20mmのストロークと最大10Nの駆動力を備えています。 非接触の光学式リニアエンコーダにより、ステージ上の位置を直接かつ高精度に測定します。非直線性、機械的バックラッシュ、弾性変形の影響を受けません。 【特徴】 ・ストローク：20mm ・コンパクト設計、高いコスト効率が ・0.03nmの分解能 ・駆動力：最大10N ・分解能：最大0.03nm ※詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
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用途／実績例
・産業用精密位置決め ・半導体技術 ・半導体試験 ・ウェーハ検査 ・リソグラフィ ・ナノインプリント ・ナノメトロロジー
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
