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恒温均熱ステージ - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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恒温・均熱ステージ PJ100

精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに!!サイズなどカスタマイズ可能。温度設定15-45℃まで。

サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ(±1℃、±0.5℃)◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ(平坦度)◎温度設定範囲15-40℃。

  • 加熱装置
  • 冷却装置
  • その他環境分析機器

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