精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに！！サイズなどカスタマイズ可能。温度設定15-45℃まで。
サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ（±1℃、±0.5℃）◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ（平坦度）◎温度設定範囲15-40℃。
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基本情報
☆カスタマイズ可能！！ ・ステージサイズ：100×100〜300×300（mm） ・ステージ表面処理：アルマイト、Niめっき、テフロン処理 ・真空チャックパターン 2"〜8" ☆取り付けインターフェース、メカニカル形状などもカスタマイズ可能です！ ご相談ください！
価格情報
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納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
精密な温度制御、温度のバラツキが許されない半導体やナノテクプロセスに。
カタログ（3）
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企業情報
生産技術者様、製造スタッフ様を強力！ にサポートするＭＳＡファクトリーのウェブサイトに是非、一度お立ち寄りください。