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成膜技術トラブル対策 - メーカー・企業と製品の一覧

成膜技術トラブル対策の製品一覧

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プラスチック基板への成膜技術とトラブル対策

プラスチック基板へ無機薄膜を形成するには?そのパラメータ制御、組成、構造をコントロールするには?

【講演要旨】 プラスチックの表面に機能性の無機材料などを形成した機能性プラスチックは,エレクトロニクス,情報・ディスプレイ,自動車,環境,エネルギー,生活資材,バイオメディカルなどあらゆる分野で従来の無機材料に代わりつつある。しかしながら,プラスチックはガラスなどと比べ、成膜時の基板への温度条件などが比較的限定され、成膜技術は難しい。また,表面エネルギーが小さいため,無機材料膜との密着性を確保することが難しく,また無機膜の成長制御も難しい。本セミナーにおいては,プラスチック基板へ無機膜形成技術について,従来の技術を概説し,課題の解決策や今後の展開について解説する。

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