成膜装置向け電源（DC・RF・EB） ラインナップ
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック！高信頼性の成膜装置向け電源です【アルバック／ULVAC】
株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。 【ラインナップ】 ■DC電源「DPG-10/DPG-20」 ■EB電源「HPS-Nシリーズ」 ■RF電源「RFS-Nシリーズ」 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
