装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック！高信頼性の成膜装置向け電源です【アルバック／ULVAC】
株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。 【ラインナップ】 ■DC電源「DPG-10/DPG-20」 ■EB電源「HPS-Nシリーズ」 ■RF電源「RFS-Nシリーズ」 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特長】 ＜DC 電源「DPG-10/DPG-20」＞ ■軽量・省スペース ■出力電圧範囲が選択可能 ■豊富なアークハンドリング ■冷却水不要 ■高速アーク遮断回路を搭載可能 ■自由な並列運転機能を搭載可能 ＜EB電源「HPS-Nシリーズ」＞ ■冷却水不要 ■高信頼性 ■簡易な操作性 ■スイープ波形バリエーション ■高速アーク遮断機能 ■低レベルアークコントロール機能（光学用途向けオプション） ＜RF電源「RFS-Nシリーズ」＞ ■高効率アンプ採用 ■高速オートマッチング ■RF電源にオートマッチング機能を内蔵 ■柔軟な制御形態に対応 ■高信頼性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ＜DC 電源「DPG-10/DPG-20」＞ ■FPD 用スパッタリング装置 ■半導体用スパッタリング装置 ■タッチパネル用スパッタリング装置 ■産業コーティング用スパッタリング装置 ＜EB電源「HPS-Nシリーズ」＞ ■金属膜用真空蒸着 ■光学膜用真空蒸着 ＜RF電源「RFS-Nシリーズ」＞ ■スパッタリング装置 ■CVD 装置 ■プラズマエッチング装置 ■RFイオン源 ■ニュートラライザ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
詳細情報
-
DC電源 DPG-10/DPG-20 DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。信頼性のある部品と回路で構成しております。長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
-
EB電源 HPS-Nシリーズ HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。
-
RF電源 RFS-Nシリーズ RFS-1310N/RFS-1305Nは13.56MHz・1kW/500W出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現します。 さらに、RF 電源にオートマッチング機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。