手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-06型）
φ4 以下の各種素材ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ4 以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
手動厚さ測定器 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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手動式厚さ測定機（STM-03型）
φ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定装置
本機械はφ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定を行う装置です。 ウェーハのセットおよび測定は作業者の手動操作で行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-05型）
φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
手動厚さ測定機（STM-07型）
φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。 それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
