排気シミュレーションソフト - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト

DSMC-Neutrals は非構造格子を用いた3次元希薄気体解析用のソフトウェアです。 クヌーセン数が高く非平衡性が強い原子分子流れのシミュレーションを得意とします。 化学種の吸着・脱離（蒸発）も扱えるため、真空蒸着や化学蒸着の装置への適用実績が数多くあります。 また、微粒子の熱泳動、移動する壁表面での散乱、多孔質内の透過等の計算も可能となっています。 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ◎トライアル（試用） 有償で1ヵ月のトライアル（試用）を実施しております。 詳しくは下記の「お問い合わせ」より、お気軽にお問い合わせ下さい。